晶圆尺寸: 515*510 毫米 / 600*600 毫米 | 抛光头数量: 1 个 | 抛光头直径: 外径 930 毫米 | 抛光盘直径: 外径 1300 毫米
工艺: 单面刷洗 | 清洗工位: 单腔单工位 | 上下片: 手动 | 晶圆尺寸: 2-6英寸
