新 Gemini-3 双浆/清洁剂输送系统 在 钱德勒, 亚利桑那, 美国

Axus Technology 的 Gemini-3 是一种单浆或双浆/化学品混合和输送系统，可连续供应两种精确控制的 CMP 浆料或清洗化学品，结构非常紧凑，经济实惠。 该系统为每种成分的混合使用一对混合罐和输送罐，非常适合广泛的生产和开发应用。 浆料/化学品混合物从一个罐中分配，同时在第二个罐中制备新一批浆料/化学品混合物，从而实现不间断的按需浆料/化学品输送。
这种双罐布置无需混合大批量泥浆，并减少了对存储泥浆或化学品的罐体寿命和化学品管理的担忧。 泥浆管理功能包括泥浆加湿、氮气回填、自动清洁以及吹扫功能。 Axus Technology 的 Gemini-3 双浆料输送系统总体设计用于简单的浆料/化学品维护，可快速清洁和更换浆料/化学品类型，占地面积小于 6 平方英尺，非常紧凑。
标准配置包括
符合行业标准的磁悬浮低剪切力泵可持续输送新鲜泥浆或清洗剂。
用户友好型触摸屏控制装置为泥浆/化学品混合和输送以及维护和泥浆更换提供了直观的用户界面。