新 TPP-1310 在 北京市, 北京, 中国

规格参数

新旧状况
晶圆尺寸
515*510 毫米 / 600*600 毫米
抛光头数量
1 个
抛光头直径
外径 930 毫米
抛光盘直径
外径 1300 毫米
子类别
机器
子类别 2
Cmp
产品编号
104306110

描述

人工将载板放到上下料工作台上,通过上下料工作台将载板放到上抛光盘上,然后进行自动抛光,机台配置摩擦力终点检测,可自动抛光至目标值才停止。

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品牌
N/A
位置
🇨🇳 北京市, 北京, 中国

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