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晶圆尺寸: 6/8 英寸 | 晶圆气囊压力: 70-700 克/平方厘米 | 抛光盘直径: 外径 530 毫米
加压方式: 气囊 | 研磨压力: 最大 400 千克力 | 上下抛光盘尺寸: 外径 630 毫米 | 游星轮规格: 9B*5
抛光盘规格: 外径 380 毫米 | 抛光头数量: 2个 | 抛光头加压方式: 砝码或真空抛光压头
最大晶圆尺寸: 8 英寸 | 砂轮规格: 直径 203（外径）毫米 | 砂轮轴功率: 6.0 kw
最大晶圆尺寸: 12 英寸 | 减薄主轴功率: 7.5 kw | 减薄主轴砂轮尺寸: 外径 303 毫米 | 抛光头尺寸: 外径 450 毫米
工件尺寸: 最大 300×100，最小 100×50 | 砂轮轴数量: 2个 | 砂轮轴功率: 5 kw | 砂轮规格: 外径 180 毫米
压力: 最大 1000 千克力 | 上下抛光盘尺寸: 外径 1100 毫米 | 游星轮数量: 6个
晶圆尺寸: 6 英寸 | 抛光盘规格: 外径 520 毫米 | 抛光盘数量: 2个 | 抛光头数量: 4个
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