新 TAP-500/600 Dual series 在 北京市, 北京, 中国

该系列抛光机是双抛光盘的高精密单面抛光设备，可实现四轴同时加工，设备可依据不同晶圆配置相应抛光头，真空吸附固定晶圆，气囊加压，抛光压头自转并兼具摆动，适用于各种半导体材料的抛光。