抛光盘规格: 外径 630 毫米 | 抛光主轴数量: 3个 | 抛光头数量: 4组8个
晶圆尺寸: 4/6 英寸 | 抛光盘规格: 外径 406 毫米 | 晶圆气囊压力: 70-500 克/平方厘米 | 保持环压力: 70-700 克/平方厘米
北京市, 中国
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