晶圆尺寸: 2-6英寸 | 陶瓷盘规格: 外径 360 毫米 | 压片装置: 气囊+气缸二段压片
晶圆尺寸: 2-6英寸 | 陶瓷盘规格: 外径 360 毫米 | 清洗工位: 纯水+PVA刷 | 压片装置: 气囊+气缸二段压片