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最大晶圆尺寸: 6 英寸 | 最大陶瓷盘尺寸: 外径 150 毫米 | 运行方式: 手动
抛光盘规格: 外径 400 毫米 | 抛光头数量: 4个 | 抛光头尺寸: 2-4英寸 | 抛光盘转速: 0-1500 转/分钟
晶圆尺寸: 515*510 毫米 / 600*600 毫米 | 抛光头数量: 1 个 | 抛光头直径: 外径 930 毫米 | 抛光盘直径: 外径 1300 毫米
晶圆尺寸: 2-4英寸 | 最大陶瓷盘尺寸: 外径 150 毫米 | 运行方式: 半自动 | 涂蜡: 固体蜡罐滴蜡
晶圆尺寸: 6/8 英寸 | 抛光盘数量: 1个 | 晶片气囊压力: 0-700 克/平方厘米 | 抛光盘直径: 外径 530 毫米
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