二手 维护和翻新

考虑设备的测量精度、分辨率及其与特定半导体工艺的兼容性。评估供应商的支持服务以及设备与现有系统集成的难易程度。

使用擅长处理敏感和高精度设备的专业运输服务。确保设备包装良好，并配有适当的缓冲材料和处理说明。

定期校准和检查是必不可少的。遵循制造商的预防性维护指南，包括清洁光学部件和检查软件更新。保持所有维护活动的记录。