二手 N&K OptiPrime - CD 在 天安市, 忠清南道, 韩国
二手
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规格参数
描述
OptiPrime - CD 的主要特性
优化的偏振反射率（Rs 和 Rp）数据
- 微点技术
可配置用于 300 毫米（12 英寸）、200 毫米（8 英寸）和 150 毫米（6 英寸）晶圆
全自动
基于获得专利的反射光学技术，可优化信噪比
对亚纳米级结构和材料变化非常敏感
- 厚度、n 和 k（从 190 纳米到 1000 纳米）
二维和三维结构的 OCD 计量
(沟槽和接触孔）
- 深度、CD、剖面
康耐视模式识别软件
更换灯泡后无需重新校准
模块化设计 - 易于维护和保养
GEM/SECS 通信接口
SEMI 标准和第三方认证
设备要求：
100 - 240 V、50/60 Hz、1Φ
真空，CDA（用于 FOUP 负载端口）
*** 待翻新，安装在洁净室中。
*** 翻新和系统全面检查后，系统配置可能会有一些差异。