
SBT 在线式超声波扫描显微镜
- 品牌: SBT
图像推荐分辨率: 1~4000μm | 自动上下料: √ | 自动检测: √ | 产品工位: 上下料工位、载具缓存工位、吹扫烘干工位、超扫工位 | 三轴有效行程: 500×320×100㎜ | 最大扫描速度: 1200㎜/s | 扫描系统: X轴/Y轴直线电机,Z轴伺服电机 | Uph: HPD 300μm ≥120
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SBT 半自动超声波扫描显微镜
- 品牌: SBT
整机尺寸: 1800×970×1860㎜ | 样品台(电脑桌)尺寸: 1500×750×800㎜ | 三轴有效行程: 整体320×320㎜ | 最大扫描速度: 1200㎜/s | X轴加速度: 2G,可手动或自动调整 | Z轴移动行程: 0-100mm | 探头配置: 一个或两个C扫描探头安装工位
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SBT US300系列
- 品牌: SBT
整机尺寸: 1200×1500×2000㎜ | 探头配置: 1探头、2探头 | 图像分辨率: 1~4000μm | 超声发射接收带宽: 1~300MHz,2G/s采集卡 | 扫描模式: 高精扫描、快速扫描 | Xy轴: 高性能直线电机、龙门双驱 | 整体有效扫描范围: 420×320㎜(可定制) | 治具: 晶圆专用载具,可定制 | 标配: 可导出各种缺陷信息的Excel文件
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SBT Wafer400系列
- 品牌: SBT
整机尺寸: 1000×1000×2000㎜ | 探头配置: 1探头、2探头、4探头可选 | 图像分辨率: 1~4000μm | 超声发射接收带宽: 1~500MHz,2G或4G采集卡,骄成自研 | 扫描模式: 高精扫描、快速扫描 | Xy轴: 高性能直线电机、龙门双驱 | 扫描形式: 水浸式、喷水式可选 | 洁净等级: 标配FFU,符合Fab洁净等级要求 | 标配: 可导出各种缺陷信息的Klarf文件或Excel文件
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超声扫描显微镜Laes1200
0.5 ~2mm(50mhz探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz探头) | 1.0 ~4.0mm(15mhz探头): 1.2 ~3.7mm(15MHz探头) | 0.3 ~1.5mm(25mhz探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz探头)
上海市, 中国
超声扫描显微镜Laes810
0.5 ~2mm(50mhz探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz探头) | 1.0 ~4.0mm(15mhz探头): 1.2 ~3.7mm(15MHz探头) | 0.3 ~1.5mm(25mhz探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz探头)
上海市, 中国
超声扫描显微镜Laes430
0.3 ~1.5mm(25mhz 探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz 探头) | 1.0 ~4.0mm(15mhz 探头): 1.2 ~3.7mm(15MHz 探头) | 0.5 ~2mm(50mhz探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz探头) | 1.0 ~4.0mm(15mhz探头): 1.2 ~3.7mm(15MHz探头)
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超声扫描显微镜Laes420
0.3 ~1.5mm(25mhz 探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz 探头) | 1.0 ~4.0mm(15mhz 探头): 1.2 ~3.7mm(15MHz 探头) | 0.5 ~2mm(50mhz探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz探头) | 1.0 ~4.0mm(15mhz探头): 1.2 ~3.7mm(15MHz探头)
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超声扫描显微镜T100
0.5 ~2mm(50mhz探头): 0.5 ~ 1.4mm(25MHz探头) | 1.0 ~ 4.0mm(15mhz探头): 1.2 ~ 3.7mm(15MHz探头) | 温度梯度(时间): 2°C /24h | 温度梯度(空间): 1°C /m | 频率: 50/60 Hz | 耗电量: 1~2KW | 接地要求: 接地电阻小于4欧姆 | 水温要求: 15~30℃ | 环境要求: 少振动、少灰尘少,无腐蚀性气体的地方...
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超声扫描显微镜Laes620
0.5 ~2mm(50mhz探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz探头) | 1.0 ~4.0mm(15mhz探头): 1.2 ~3.7mm(15MHz探头) | 0.3 ~1.5mm(25mhz探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz探头)
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超声扫描显微镜Laes630
0.5 ~2mm(50mhz探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz探头) | 1.0 ~4.0mm(15mhz探头): 1.2 ~3.7mm(15MHz探头) | 0.3 ~1.5mm(25mhz探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz探头)
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超声扫描显微镜Laes600
0.5 ~ 2mm(50mhz探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz探头) | 1.0 ~ 4.0mm(15mhz探头): 1.2~ 3.7mm(15MHz探头) | 0.3 ~1.5mm(25mhz探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz探头) | 1.0 ~4.0mm(15mhz探头): 1.2 ~3.7mm(15MHz探头) | 温度梯度(时间): 2°C /24h | 温度梯度(空间): 1°C /m | ...
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超声扫描显微镜Laes830
0.5 ~2mm(50mhz探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz探头) | 1.0 ~4.0mm(15mhz探头): 1.2 ~3.7mm(15MHz探头) | 0.3 ~1.5mm(25mhz探头): 0.5 ~1.4mm(25MHz探头)
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