HGTECH 晶圆厚度测量系列 半导体晶圆厚度测量设备
新
- 品牌: Hgtech
物品: 主要参数 | 一般参数: 晶片尺寸;4" , 6" | 箱子的数量: 双层,14件 | 装载和卸载方法: 机器人,测绘扫描 | 运动平台: X行程150mm,Y行程150mm,重复精度±0. Y行程150mm,; 重复精度±0. 重复精度±0.1μm | 能力: 4", 240wph 6", 220wph | 探测性能: 检测功能;晶圆(涂层晶圆)厚度、TTV、翘曲度 | 厚度测试的准确性: ±0 .5 μ m....
武汉市, 中国