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二手 热处理(半导体)

概述

半导体热处理设备包括炉子、快速热处理器(RTP)、退火系统以及扩散/氧化设备,通过可控加热改变晶圆特性。这些设备需要精确的温度曲线、气氛控制和均匀性,以满足严格的工艺要求。采购用于晶圆厂、研发或试产的二手设备时,应评估产能、晶圆尺寸兼容性、工艺配方、设备状况、软件版本及备件耗材可用性。

常见问题解答

购买二手热处理设备时应检查什么?

审查工艺历史和配方,核实晶圆尺寸与产能兼容性,检查腔体和加热元件状况,查看维护记录与污染历史,确认软件版本以及备件和耗材的可得性,确定电源、气体和真空要求。

如何安全运输和安装这些设备?

选择有半导体装置运输经验的承运商,清洁并固定内部部件,保护光学和加热部件,必要时使用气候控制运输,使用振动/冲击监测并投保,安排认证吊装和现场再校准。

常规维护有哪些?

安排定期校准,按OEM建议更换加热元件和热电偶,维护真空泵和气路,定期清洁腔体并做泄漏检查,保持软件更新,并考虑与OEM或认证技术人员签订维修合同。