二手 涂层/显影轨道

检查盒带容量、支持的晶圆尺寸、化学品使用记录、维护日志、泵和旋转部件状况，以及是否包含备件和操作手册。

需进行认证去污，排空并吹扫化学管线，固定易损件，必要时使用温控运输，并准备洁净度/去污证明文件。

通常需要去离子水、溶剂排放、氮气或干燥空气、合适的电力、排气/通风，以及可能需要的冷却水或真空接口。

定期更换过滤器与泵、检查密封件和管路、检查旋转轴承、校准烘烤板并清洗化学管线，具体周期依据产量和化学侵蚀性决定。

OEM易损件有时交期较长；购买前确认密封件、泵件、spin chuck 和控制器等关键备件的供应渠道。