设备名称: 干泵
设备名称: 冷冻导航
设备名称: 旋转泵
设备名称: 涡轮分子泵控制器
设备名称: 涡轮分子泵(TMP)
设备名称: 斯宾干燥机
设备名称: 涡流泵
设备名称: 真空排气单元
设备名称: 低温压缩器 | 备注。: 累计 99437hr