轨道跨度: 52.4M | 备注: 不包括行走轨道(与 1043 号地块共用)
轨道跨度: 50M | 备注: 不包括行走轨道(与 OHA-101 共用)
轨道跨度: 52.4M | 备注: 不包括行走轨道(与 1043、1045 和 1046 号地块共用)
压车机: 4 个(5 吨)、 | 压紧装置速度: 15mm/sec
序号: 不适用 | 数量: 1 | 设备细节: 种子蚀刻机(蚀刻站) | 设备: 种子蚀刻机 | 描述: 晶圆 200 毫米