新 TAP-400/450/500/600 series 在 北京市, 北京, 中国

该系列抛光机是双轴高精密单面抛光设备，设备可依据不同晶圆配置相应抛光头，真空吸附固定晶圆，气囊加压，抛光压头自转并兼具摆动功能，适用于各种半导体材料的抛光。