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该系列抛光机是落地式高精度单面抛光设备,配置抛光盘冷却和温度监控系统,保证抛光过程恒温,设备操作简单、配置丰富,可搭配铜盘、锡盘、玻璃盘、不锈钢盘等(可选配车刀系统),配合不同类型的抛光液,适用于各种半导体材料的抛光。
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