二手 VEECO D3100S-1 在 天安市, 忠清南道, 韩国
二手
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规格参数
描述
主要特征:
. 可扫描高达8英寸的样品
. 几乎不需要样品前处理以提高生产率
. 坚固、低振动结构,提供卓越的图像质量
. 集成顶视彩色视频光学,分辨率1.5微米并具放大功能
. 无需工具即可轻松切换所有AFM/STM扫描模式/技术
. 自动分步扫描,可无人值守扫描多个区域
. Trakscan激光跟踪系统提高图像和测量质量
. 激光点对准窗口,便于设置
. 所有三个维度的高分辨率和线性度
- 尺寸 SPM 头
- X-Y 成像区域约90微米平方
- Z 量程约6微米
- 横向精度通常在1%以内,最大2%
- 标准150mm真空卡盘,适用于100mm、125mm、150mm晶圆
- 可选200mm真空卡盘,适用于150mm和200mm晶圆
- 可检查区域125x100mm;覆盖半块150mm晶圆的一半,无需手动旋转样品
完整晶圆可手动旋转
- Nanoscope Dimension 3100 控制器




