二手 2011 KLA TENCOR Candela 8600 在 天安市, 忠清南道, 韩国

规格参数

新旧状况
二手
年份
2011
晶片尺寸
6"
销售状况
沽出
工具的状况
优秀
- 激光器
斜视(50mW, 405nm), 正常(85mW, 660nm)
- 光斑大小
5㎛ x 4㎛.
- 粒子检测
小于0.08㎛的硅衬底。
- 划伤
0.1㎛宽,1~2纳米深。
- 坑坑洼洼
直径20㎛,50Å;;深。
- 污渍
直径20㎛,10Å;;厚。
- 基层厚度
350㎛ ~ 1,300㎛.
- 输入空气
CDA 90 PSI
子类别
计量学
子类别 2
缺陷检查
产品编号
78242213

描述

KLA-Tencor Candela 8600光学表面分析仪(OSA)是一个基于激光的检测系统,用于检测半导体和光电子晶圆。
它是手动的晶圆处理工具。
Candela缺陷检测系统同时测量表面反射率和形貌,用于自动缺陷检测和分类。
该缺陷检测系统的检测技术结合了散射测量法、椭圆测量法、反射测量法和地形分析法,以非破坏性的方式检测晶圆表面的缺陷,以及不透明衬底、外延层和透明薄膜涂层(SiC、GaN、蓝宝石)的膜厚均匀性。
- 可用于外延层和裸露基片。

- 可用于Si、GaAs、Al2O3、SiC基材。
- 空气平衡系统ULPA和HEPA空气过滤器(更换新的)。
- 输入电源230V 5A 50/60Hz
*.完全翻修过。安装在无尘室,可以随时演示。

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品牌
KLA-Tencor
型号
Candela 8600
位置
🇰🇷 天安市, 忠清南道, 韩国

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4.0