二手 2011 KLA TENCOR Candela 8620 在 天安市, 忠清南道, 韩国
二手
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规格参数
描述
KLA-Tencor Candela 8620光学表面分析仪（OSA）是一个基于激光的检测系统，用于检测半导体和光电子晶片。
它是完全自动化的，具有集成的晶圆处理功能，可以进行盒到盒的操作。
Candela缺陷检测系统同时测量表面反射率和形貌，用于自动缺陷检测和分类。
该缺陷检测系统的检测技术结合了散射测量法、椭圆测量法、反射测量法和地形分析法，以非破坏性的方式检测晶圆表面的缺陷，以及不透明衬底、外延层和透明薄膜涂层（SiC、GaN、蓝宝石）的膜厚均匀性。
- 磁带处理
- 处理机：绘图,晶圆在卡盘和FFM上的对中：OK，晶圆装载/卸载：OK
- 可用于外延和裸露的基片。
- 可用于Si、GaAs、Al2O3、SiC基片。
- 空气平衡系统ULPA和HEPA空气过滤器（更换新的）。
- 输入功率230V 6A 50/60Hz
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