二手 2005 N&K 1700RT 在 天安市, 忠清南道, 韩国

宽带光谱仪用于测量光罩网纹的薄膜厚度和沟槽轮廓。
n&k 1700-RT设计用于处理5英寸或6英寸的方形掩膜。
n&k 1700-RT可同时测定190-1000nm光谱范围内的厚度、n和k，以及沟槽轮廓。这些系统直接在设备上提供非破坏性的、实时的、高产量的测量，并在同一地点收集偏振反射率和传输数据（在190-1000纳米的光谱范围内）。这些系统包含先进的模式识别软件、专利的微点测量技术和一个独特的基于全反射的光学系统。
该系统包括一个偏振器和特殊的沟槽分析软件，并提供CD、沟槽深度和轮廓的非破坏性的实时测量。