二手
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最大可测量 8 英寸晶圆 SSM 42 电容测量单元 电机控制单元 气动控制装置 PC 系统
PROCAP 软件 性能 1Mhz 电压下的驱动信号频率=15mV rms CDA: 80~100psi, 样品吹扫用氮气:0~15psi
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