新 阿瓦隆 CMP Axus Carrier Upgrades 在 钱德勒, 亚利桑那, 美国

膜载体是一项经过行业验证、应用广泛的技术，具有耗材成本低、可维护性高的特点。 Axus 设计的载体可改装到现有的 CMP 工具上，从而显著提高工具的性能和可靠性。
Avalon 是市场上同类产品中最先进的 4 区膜载体，具有中心压力区。 Axus Avalon 的性能可达到最严格的均匀性、可重复性和抛光轮廓规格。 Avalon 可适用于多个 CMP 平台，无需将气动系统升级到更多压力区，成本高昂。
标准配置包括
与使用刚性板的传统载波器相比，Avalon 载波器的 WIW 不均匀度要低得多。
4 压力区 Avalon 载体的设计旨在减少晶片边缘的不均匀性。