二手 LAM TCP 9600SE 在 龙仁市, 京畿道, 韩国
二手
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描述
金属蚀刻机
- TMP：Alcatel ATH-1300M、
控制器：阿尔卡特ACT-1300M
- 射频发生器：3155027-000N
- N2镇流器 : N2 20SCCM
- DIP板
- 多功能电源
- 小型匹配器
- 晶片支架
- 12通道加热器
- 硬盘接口
- 两个索引器
- DSQ室：射频线圈和匹配
- 气体配置：UNIT UFC-1660 MFCs
.BCl3/100SCCM
.Cl2/200SCCM
.O2/200SCCM
.N2/50SCCM
.CF4/20SCCM
.
Ar
/200SCCM
.O2/2SLM
.CF4/100SCCM
- 室内压力计 : CMH4-M11S19-EMC/685-091078-011
- DSQ压力计 CMLA-11S17/685-090767-001
- 气体馈通
- 交流架：208VAC 3相5Kw
- EPD检测器 853-001983-011
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