二手 TEL Unity II 85 TPA 在 龙仁市, 京畿道, 韩国
二手
描述
用于晶圆的聚酰亚胺静电卡盘硬件与双何冷却系统/用于加工室的卡盘负载锁定保护/两（2）台Daihen射频发生器/两（2）台Daihen自动化匹配网络/两（2）台SMC双通道高温冷却器/光学晶圆定位系统/两（2）台用于200毫米晶圆加工的优化室/所有泵与主机的接口和控制箱/两（2）台精工涡轮分子泵/单（1）台机械机器人手臂与两（2）个刀片
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