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二手 1996 AMAT CENTURA 5200 在 京畿道, 韩国

二手

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规格参数

新旧状况
二手
年份
1996
晶片尺寸
8英寸
分类
沉积设备（CVD、PVD） 在 韩国
子类别
Etch
产品编号
53660185

描述

ETCH箱体
腔体类型MxP
晶片夹聚酰亚胺ESC
BS 氦气冷却 是
氦气排放管 是

涡轮泵 SEIKO STP-301CB1
端点式单机 (不提供端点系统)
单色仪每室数量(缺光纤线)
发电机型号ADTEC AX-1000Ⅱ
最大功率1200W
盖子温度控制 PID控制
闸阀 加热闸阀
匹配器SMA-1000
过程压力计MKS 1Torr

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沉积设备（CVD、PVD） 在 韩国EtchAmat 沉积设备（cvd、pvd）Amat Centura

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品牌
Amat
型号
Centura
位置
🇰🇷 京畿道, 韩国

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