二手 2006 N&K N&K 5700 CDRT 在 天安市, 忠清南道, 韩国
二手
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规格参数
描述
宽带光谱仪用于测量光罩网纹的薄膜厚度和沟槽轮廓。
n&k 5700-CDRT自动化系统是为处理5 "或6 "方形掩模而设计的。
n&k 5700-CDRT同时测定厚度、190-1000nm光谱范围内的n和k，以及沟槽轮廓。这些系统直接在设备上提供非破坏性的、实时的、高产量的测量，并在同一地点收集偏振反射率和传输数据（在190-1000纳米的光谱范围内）。这些系统包含先进的模式识别软件、专利的微点测量技术和一个独特的基于全反射的光学系统。
该系统包括一个偏振器和特殊的沟槽分析软件，并提供CD、沟槽深度和轮廓的非破坏性的实时测量。