二手 2000 KLA TENCOR VIPER 2410 在 天安市, 忠清南道, 韩国
二手
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规格参数
描述
KLA-Tencor的2401自动宏观缺陷检测系统
- 取代由操作人员进行的手动亮光宏观缺陷检查。
- 自动检测、分类和报告所有对产量至关重要的显影后宏观检查缺陷类型、
包括热点、划痕、大颗粒、多余和缺失的抗蚀剂、未曝光的区域、条纹、显影剂斑点和回溅。
- 2401自动宏观缺陷检测系统的灵敏度优于操作人员，能够可靠和重复地检测缺陷，从而能够快速和准确地作出处置决定，大大减少废品，并防止在低收益的晶圆上进一步投资。