翻新的 斯特拉斯堡 6EG 在 钱德勒, 亚利桑那, 美国

Axus Technology 的 6EG 型 CMP Planarizer 经过再制造，为有限生产工厂和研究小组在 300 毫米基板上抛光薄膜提供了一种经济的方法，抛光效果可与数百万美元生产级别的 CMP 工具相媲美。 泰坦 “先进的膜晶片载体升级版显著改善了工艺和生产率。
半自动装载/卸载功能与可通过彩色触摸屏图形用户界面对 PC 控制器进行编程的自动抛光循环排序功能相结合，为工艺工程师提供了高产能、大占地面积、昂贵的生产级 CMP 工具的功能和优势。 Axus Technology 的 6EG 型抛光机是经济实惠的解决方案，在小尺寸抛光工具中提供了最先进的 CMP 优势，而且价格极具吸引力
标准配置包括
闭环工作台驱动电机和主轴驱动电机有助于确保一致的加工结果。
可编程衬垫调节系统提供原位和/或非原位可编程选择性衬垫调节，用于