二手 珀尔溅射（PVD）120 千瓦动力装置 #3109 在 陶陶巴尼奥, 匈牙利
二手
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规格参数
- 新旧状况
- 二手
- 库存编号
- 3109
- 输出功率
- 120 kW
- 输入电压
- 480 伏交流，三相
- 输出电压
- 0-1200 伏直流
- 输出电流
- 0-1000 ADC
- 功率因数
- 0.97
- 整体尺寸
- 1220 毫米 x 850 毫米 x 2300 毫米（高）。
- 重量
- 1100 公斤。
- 保护功能
- 短路、过载、过压
- 产品编号
- 14277357
描述
PEIRS 120 kW 溅射电源是一种大功率电压转换设备，用于通过溅射进行薄膜沉积。通过溅射技术可以沉积超薄的各种材料层，如金属、绝缘体和半导体。
PEIRS 120 千瓦电源具有以下特点：
模块化设计，便于维护和灵活扩展。
该电源可与溅射过程中使用的大功率离子源和大面积靶基板一起可靠、高效地运行。