二手 Balzers SCD 004 在 布拉丁根, 巴登-符腾堡州, 德国
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描述
Balzers Sputtergerät Modell SCD 004. Zur Beschichtung von REM-Proben.Mit Drehschieberpumpe DUO 004 B. Baujahr: 1990. Neupreis: 6757,- Euro.
Firma:
Balzers
Modell:
SCD 004
Kommentar:
Dokumente
Frontansicht des Gerätes
2/1 Probenkammer-Sockel
2/2 Glaszylinder
2/3 Sputterkopf
2/4 Gasdosier- und Belüftungsventil
2/5 Netzschalter
2/6 Bedienungs- und Anzeigepanel
Prinzipschema des Sputterprozesses
In einer evakuierten Probenkammer wird über ein Gas-Dosierventil durch Einlassen von vorzugsweise Argongas ein Druck von ca. 0,05 mbar eingestellt. Anschliessend wird zwischen dem Objekttisch (Anode) und dem Sputter-Target (Kathode) durch Anlegen von Hochspannung eine Glimmentladung gezündet. Die dabei zur Kathode hin beschleunigten, positiv geladenen Argongas-Ionen schlagen bei ihrem Aufprall auf das Sputter-Target aus diesem Metallatome heraus.
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