二手 二手日本光驰OTFC-1300带AR涉频源光学真空镀膜机 在 东莞市, 广东省, 中国
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日本光驰OTFC-1300光学真空镀膜用于红外截止滤光片、分色滤光片等光学薄膜
主要用于红外截止滤光片、分色滤光片等光学薄膜的制备 。其核心特点包括: 真空室尺寸:Φ1300mm×1610mm(H),采用SUS304不锈钢材质 搭载双电子枪和17cm RF离子源,支持100层以上复杂镀膜结构 配备60/80点式光学膜厚监控系统(HOM2-R-VIS350A)和6点式晶控系统 极限真空度可达7.0×10⁻⁵Pa以下 技术参数 工件架:直径Φ1130mm,转速10-50rpm可调 排气系统:机械泵+2个扩散泵+Polycold(或冷凝泵) 基板温度:350℃ 设备尺寸:约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H),重量约8500kg 电源需求:3相200V,50/60Hz,约104KVA
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