二手 2021 2021年岡本SPP800ATB全自動晶圓拋光機 幾乎全新 台灣 在 台北市, 台湾
二手
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规格参数
- 新旧状况
- 二手
- 年份
- 2021
- 库存编号
- 16742
- 名稱
- 2021年岡本SPP800ATB全自動晶圓拋光機 – 幾乎全新 – 台灣
- 執行狀態
- Installed/Running
- 物品狀況
- New/Unused
- 拆卸和裝載費用（綁定）
- Not Included
- 運費
- Not Included
- 交貨條款
- FCA, loaded on truck
- 付款條件
- 100% payment prior to collection
- 機器類型
- 全自動晶圓拋光機
- 起源
- 日本
- 晶圓尺寸
- 4-6 英吋（每個週期 4 英吋 x 8 或 6 英吋 x 4）
- 波蘭表
- 2 x φ820mm，10-114 RPM，±25mm 振盪
- 卡盤台
- 3 x φ390mm，5-100 RPM，最大壓力900kg
- 方面
- 寬 2680 x 深 2770 x 高 2451 毫米
- 重量
- 9500公斤
- 力量
- AC200V 3ph，100A斷路器
- 空氣
- 100公升/分鐘 >0.55MPa
- 去離子水
- 平均 5 公升/分鐘，最大 33 公升/分鐘
- 排氣
- 3立方米/分鐘
- 自來水
- 真空幫浦2L/min
- 環境
- 23±1℃，50±10%濕度，10-40 dB振動
- 狀態
- 幾乎全新（已安裝並測試，未用於生產）
- 地點
- 台灣
- 分类
- 研磨机 在 台湾
- 子类别
- 半導體與電子製造
- 子类别 2
- 化學機械研磨設備
- 产品编号
- 107166139
描述
2021款岡本SPP800ATB是一款全自動晶圓拋光機，專為半導體製造中的精密拋光而設計。此機型由岡本公司在日本製造，採用無蠟設計，配備3個拋光頭和2個壓盤，可同時拋光4-6吋晶圓（每週期4吋 x 8片晶圓或6吋 x 4片晶圓）。該設備配備一個帶有4個晶圓盒接口（乾式晶圓盒接口）的裝載單元、晶圓搬運機器人、帶120度分度和真空夾持的拋光頭、帶振盪裝置的φ820mm拋光台、帶濕式晶圓盤的卸載單元、刷式拋光墊調節器以及帶安全聯鎖裝置的封閉式機蓋。這台機器幾乎是全新的，已安裝和測試過，但從未投入生產，是半導體應用中高精度晶圓加工的理想選擇。
應用：
半導體生產中的晶圓拋光
電子產品的精密表面處理
研究和小規模工程拋光
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