新 日本创技 18B-5P 在 东莞市, 广东省, 中国
新
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规格参数
描述
日本创技Speedfam 16B双面抛光机的综合明细介绍
一、核心配置与技术参数
主体结构
研磨盘尺寸
：φ1250mm（外径）×φ400mm（内径）×50mm（厚度），有效加工直径φ410mm。
游星轮系统
：
规格：英制DP12，齿数Z=20023；
数量：标配5个游星轮，适配φ20mm~φ410mm工件。
传动设计
：斜齿搭配结构，运行噪音≤65dB，支持正反转调速。
动力系统
主电机
：11kW，驱动下研磨盘（转速0-50rpm无级变速）。
辅助电机
：
太阳轮拖动电机：1.5kW；
抬升电机：0.75kW（半自动升降挡水盘）。
总功率
：13kW（380V电压）。
精度控制
平面度
：工件加工后平面度≤±0.002mm1250。
厚度范围
：支持0.3mm~30mm厚度工件加工。
跳动公差
：主磨盘端面跳动≤0.15mm（ISO标准）。
销售技术杨经理：181-030-45976
二、核心功能与技术特点
自动化控制
人机界面：触摸屏设定参数，实时监控压力、转速及温度，存储500组工艺数据。
四电机独立驱动：精准调节正反转模式，减少启停冲击。
结构优化设计
00001.
自锁安全系统
：上磨盘自动找平并锁定，防止错盘事故。
集中润滑
：对各运动部件定时润滑，延长轴承寿命（每500小时维护）。
效率提升
装载量：单次可加工17片φ75mm硅片或5片φ125mm晶圆。
冷却系统：外接0.37kW砂泵循环磨料，避免过热变形。
三、适用材料与行业场景
材料类型
典型应用案例
加工效果
半导体材料
硅片、砷化镓晶圆
表面粗糙度Ra≤0.5nm
光学元件
蓝宝石衬底、滤光片
厚度公差±0.005mm
硬质合金
陶瓷密封环、钨钢片
平面度≤0.005mm（铜材案例）
精密五金
活塞环、阀片
镜面抛光（无料纹/麻点）
四、市场供应与选型参考
二手设备状态
成色
：8-9成新，部分2016年产设备仍可稳定运行。
服务保障
调试支持：可提供免费工艺培训