新 SBT 全自动晶圆超声扫描显微镜 在 上海市, 中国
新
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规格参数
- 新旧状况
- 新
- 设备尺寸
- 2500㎜(L)×2000㎜(W)×1300㎜(H)
- 探头配置
- 2探头、4探头，分区扫描
- 图像分辨率
- 1~4000μm
- 超声发射接收带宽
- 1-500MHz
- 扫描模式
- 高精扫描、快速扫描（隔行差值扫描）
- 三轴平台
- 大理石平台
- Xy轴
- 直线电机、龙门双驱
- 治具
- 晶圆专用载具
- 上下料
- 全自动化
- Bonding wafer厚度
- 60-3000μm
- 洁净度
- 百级
- 分类
- 显微镜 在 中国
- 子类别
- 晶圆键合超声扫描显微镜
- 产品编号
- 104318765