新 SBT 半自动晶圆超声扫描显微镜 在 上海市, 中国

规格参数

新旧状况
外形尺寸
1200㎜(L)×1500㎜(W)×2000㎜(H)
探头配置
双探头,分工位扫描
图像分辨率
1~4000μm
超声发射接收带宽
1-500MHz
扫描模式
高精扫描、快速扫描(隔行差值扫描)
三轴平台
大理石平台
Xy轴
直线电机、龙门双驱
治具
晶圆专用载具
上下料
半自动,倾斜出入水
洁净度
百级
子类别
晶圆键合超声扫描显微镜
产品编号
104318762

描述

应用范围
6、8、12寸晶圆键合检测
设备优势
系统内无金属污染,配置微型环境(FFU)封装设计
满足扫描过程的Class2(100级)清洁度要求

配置晶圆自动入水机构
左右双探头同时扫描,提示扫描效率
整体有效扫描范围:420mm×320mm
可依据晶圆尺寸定制晶圆专用载台

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品牌
SBT
位置
🇨🇳 上海市, 中国

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