二手 2010 KLA TENCOR Candela CS20 在 天安市, 忠清南道, 韩国

规格参数

新旧状况
二手
年份
2010
晶片尺寸
2 ~8英寸
销售状况
沽出
工具的状况
优秀
照明源
8mW激光器,635纳米波长
操作员界面
轨迹球和键盘标准
基材厚度
350 μm ~ 1,100 μm
基板材料
任何透明或不透明的抛光表面
其他缺陷和应用
颗粒、划痕、污点、凹坑和凸起。
敏感性
自动缺陷分类的最小可检测尺寸
- 刮痕
100μm长,0.1μm宽,50埃;;深。
- 坑
直径20微米,50埃;;深
- 污渍
直径20微米,10埃;;厚
子类别
计量学
子类别 2
缺陷检查
产品编号
103186447

描述

[总说明]
[ 性能 ]
缺陷灵敏度 0.08微米直径的PSL球体等效 > 95%捕获率(裸硅上的PSL)
[ 应用 ]
- 不透明的基质

- EPI层
- 透明薄膜涂层(SiC, GaN, 蓝宝石)
*.完全整修过。安装在无尘室。可随时演示。

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品牌
KLA-Tencor
型号
CANDELA CS20
位置
🇰🇷 天安市, 忠清南道, 韩国

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4.0