二手 二手日本光弛1300MM真空电镀膜机 光学蒸发镀膜机包保养维修安装 在 东莞市, 广东省, 中国
二手
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规格参数
描述
设备名称
OTFC-1300CBI/DBI
真空室
SUS304, φ1300mm×1610mm (H)
工件架
φ1130mm
工件架转速
10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制
HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围：350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚计
XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源
电子2套
离子源
17cmRF离子源
排气系统
机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）
达到压力
7.0×10-5 Pa 以下
排气时间
15分（大气压～1.3×10-3 Pa)
基板温度
高：350℃
工作条件
设备尺寸
约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
电源
3相,200v,50/60Hz, 约104KVA
水流量
140升/分以上
空气压力
0.5MPa以上
重量
约8500kg
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