二手
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*. 配置： - 非图案化表面检查系统。 - 0.1 微米缺陷灵敏度（PSL 标准）。 - 0.02 ppm 眩光灵敏度。 - 0.002 ppm 眩光分辨率。
- 精度在 1% 内。 - XY 坐标。 - 锁定附件。 - Tencor 批准的鼓风机组件。 - 30mW 新的 Ar-Laser。 - 208V/60HZ，17A。 - Windows 3.1。 *. 全部翻新。 *. 位于洁净室。 *. 任何时间都可以演示。
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