新 光弛 OTFC-1300 在 东莞市, 广东省, 中国
新
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规格参数
描述
转让2台 日本光驰机otfc 1300镀膜机 双枪 射频源
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控
使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
设备名称OTFC-1300CBI/DBI
真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)
工件架φ1130mm
工件架转速10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围：350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪2套
离子源17cmRF离子源
排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）
达到压力7.0×10-5 Pa 以下
排气时间15分（大气压～1.3×10-3 Pa)
基板温度：350℃
工作条件
设备尺寸约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
电源3相,200v,50/60Hz, 约104KVA
水流量140升/分以上
空气压力0.5MPa以上
重量约8500kg
销售设备清单
序号
设备名称
规格型号
品牌
1
双面抛光机
6B/9B/9.6B/13B/15B/16B/18B/20B/21B/28B/30B/40B
日本滨井/创技/瑞德/宇环/宇晶/劳尔品牌
2
真空蒸发镀膜机
LP1650/1800/2350/1104
光弛/龙翩/新科隆/莱宝/联合
3
自动移载机
PH802
4
自动移载机
PH802
5
8寸贴膜机
UTAS208A
6
下摆机
光进/时代
7
推拉机
永田
8
铣磨机
勇益
9
仿形机
120/150/170/200/250
中航
10
异形开料机
1240
精一
11
金相显微镜
XJX-6
奥林巴斯
12
金相显微镜
MA-2002
奥林巴斯
13
干涉仪
100
ZYGO
14
奥林巴斯体视显微镜
SZ51
15
紫外分光光度计
1700/1750/1800/2401/2450/2550
日本岛津
16
光谱仪
4100
日本日立
17
红外光度计
21
傅利叶
18
超声波洗净机
科伟达/三和
19
二次元影像测量仪