新 Nidek ft-17 在 东莞市, 广东省, 中国
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规格参数
描述
Nidek 晶片平坦度/翘曲度测量仪FT-17和FT-900(Si/Ge/GaAs/InP/SiC/LT/LN)
Nidek高精密平面度检测仪, 适用于透明晶体物体（如蓝宝石晶片等）和LED外延晶片、芯片的检测。
其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测，而且更多地应用于对外延之后，外延层表面品质、TTV等的检测和评估。
在电脑显示屏上，它可自动生成三维立体的表面彩色效果图，以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。
此外，它也适用于液晶电视屏幕面板所需要的大而平的图形掩膜的检测。
Nidek高精密平面度检测仪, 适用于透明晶体物体（如蓝宝石晶片等）和LED外延晶片、芯片的检测。
其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面/双面的表面平坦检测，而且更多地应用于对外延之后，外延层表面品质、TTV等的检测和评估。
在电
测试项脑显示屏上，它可自动生成三维立体的表面彩色效果图，以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。
该产品目前已在国内大手厂商中广泛采用，特别是在外延片的品质检测方面。颇受好评。
据不完全统计，至2012年底该产品已被国内LED衬底和外延片80多家厂家所使用。
吸附：GFLR、GF3D、GF3R、TV、GBIR、TAPER、TAng、SFLR、SFLD、SFQR、SF3R、SF3D、SBIR、SBID
非吸附：BOW、SORI、整体应力、局部应力
可测试晶片种类
切割片、研磨片、抛光片、外延片、磊晶片
可选配光刻区域模拟软件、应力分析软件等
FT-17 Series
FT-900 Series
无解析
无显示
带解析
带解析
（V2规格）
无解析
无显示
带解析
带解析
（V2规格）
测定方法
光波干涉方式（斜入射）
光源
半导体激光（655nm、3mW）
He-Ne激光（632.3A、5mW）
样本尺寸
直径130mm以下
（平坦度测定100mm以下）
直径200mm以下
样本厚度
2000um以下（根据测量承载台不同，大可达10mm），其他厚度需客户另行协商
样本种类
Wafer（Si、化合物、酸化物、玻璃）、金属片、硬盘（铝、玻璃）等镜面和非镜面（反射率低的非镜面不可测试）
样本倾斜角度
垂直方向倾斜8度
垂直或垂直方向倾斜8度
干涉计设定敏感度