二手 二手日本光弛OTFC-1550/1800光学真空镀膜机 电子束蒸发电镀机包培训调试保修服务 在 东莞市, 广东省, 中国
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规格参数
描述
工厂转让一台日本
OTFC-1550真空电镀膜机
使用范围:介质膜及金属膜光学元件镀膜
真空室：SUS304,
Ф1550*1800MM
工件架
：
Ф
1400
工件架转速
：10rpm to 30rpm (可变)
光学膜厚控制
：HOM2- -R -VIS350A
光学膜厚监控仪
：波长范围: 350nm to 1100nm |
反射式/透射式
水晶式膜厚计：XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源：电子2套
离子源：17cmRF离子源
排气系统：机械泵2个，扩散泵Polycold (或2个冷凝泵)
性能
达到压力
：7. 0X10-5Pa以下
排气时
间：20分
(大气压~1. 3X 10-3Pa)
基板温度：高: 350C
工作条件
设备尺寸：药500m00) x 7200m(D)X53700mm
电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA
水流量：180升/分以上
空气压力：0.5MPa以上
重量：约11000kg
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