二手 SPEEDFAM 13B 在 东莞市, 广东省, 中国

、光学玻璃、石英晶体、其它
半导体
材料等
非金属
和金属的硬脆性材料薄形精密零件的上、下两平行端面的同时磨削及抛光。(可上门安装服务）
二，主要技术参数
:
1）研磨盘规格：上盘Φ965×Φ395×45mm 下盘Φ965×Φ395×35mm
2）行星轮规格:Dp12 Z=152 a=20° （外径：Φ325.96）
3）放置行星轮个数n 3≤n≤6
4）研磨工件厚度:b 0.3mm≦b≦20mm
5）研磨工件理想规格: Φ125 工件规格：对角线300mm
6）齿圈升降高度:35mm
7）下研磨盘转速: 0-50rpm
8）主气缸: Φ125×450mm
9）升降气缸: Φ80×250mm
10）端锁气缸: Φ32×15mm
11）主电机:YVP132M-4 9KW
12）副电机: YVP90L-4 1.5KW
13）砂泵电机: AB-100 250W
14）设备外形尺寸：1690×1340×2650mm
15）设备重量：方立柱2700kg/圆立柱3000Kg
主机精度：
1.下抛光盘端面跳动 0.05mm
2.上下抛光盘平面度 0.02mm
3.太阳轮径向跳动 0.06mm
4.齿圈径向跳动 0.12mm
加工精度：
1.修正轮修研后平行度、平面度 0.0035mm
2.加工件平面度/平行度 0.003mm/φ100mm
加工能力
1.单片承片量 8片/φ75mm 5片/φ100mm
2.整盘承片量 48片/φ75mm 30片/φ100mm
四，特点
1. 整机的传动运作采用独立电机拖动，上下磨盘及内齿均可单独调速和单独设置转向，满足不同工艺的加工要求及修盘需求
2. 外齿圈有自动升降和点动升降功能，方便在加工过程中快速取放工件又满足改变游星轮的高低位置要求
3. 采用日本高精密调压装置，满足各种工艺对压力控制的加工要求且加工完成后具有自动提起功能，气缸升起后有自锁功能
4. 整机电机均采用变频控制，实现软启动/软停止/无冲击正反转
操作系统选用全自主研发的电子数字界面，操作方便，性能稳定，触摸屏控制，可视化设定
五，销售清单
销售设备清单
序号
设备名称
规格型号
品牌
1
双面抛光机
6B/9B/9.