二手 NIDEK FT-17 在 东莞市, 广东省, 中国
二手
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规格参数
描述
工厂出售一台 8成新2010年仪器 NIDEK平坦度测试仪FT-17
NIDEK FT-17平坦度测试仪功能简介
一,
FT-17
是
∮130mm
以下各类晶片平坦度测试装置,该装置采用激光斜射干涉技术
二,可设定
1
,
2
,
3
,
4
,
5μm/fringe
的干涉条纹。
三,接入标准的解析装置,以表示各类晶片的平面度。测定结果,可用各种测定值,等高线图,俯视图,断面图等图表示。
四,无须校准
五,以专用解析装置控制程序使操作变得容易
NIDEK FT-17
平坦度测试仪技术参数
1
,测定方法:光波干涉方法(倾斜入射)
2
,光源:半导体激光(
655nm
,
3mw
)
3
,样片尺寸:
∮130mm
以下,但是平坦度在
∮100mm
以下
4
,样片厚度:
2000um
以下(平坦度测定
250um-1000um
以下)但是承受台
10mm
、其他厚度请以其他方式商谈
5
,样片的种类:晶片(硅、化合物、酸化物、玻璃)金属片、磁碟(铝、玻璃)模具等 镜面及非镜面(除反射率低的非镜面)
6
,样片的倾斜角度:比垂直向前倾斜
8
度
7
,干涉计设定感度:
1
,
2
,
3
,
4
,
5μm/
线距
8
,测定范围:线距感光的
30
倍(线距状况、有比镜片尺寸等
30
倍以下的场合)
9
,摄像光学比:
3
倍以上
10
,
电源:
AC100V
Nidek高精密平面度检测仪,适用于透明晶体物体(如蓝宝石晶片等)和LED外延晶片、芯片的检测。
其应用不仅局限于对蓝宝石衬底单面
/双面的表面平坦检测,而且更多地应用于对外延之后,外延层表面品质、TTV等的检测和评估。
在电脑显示屏上,它可自动生成三维立体的表面彩色效果图,以帮助人们清楚细微地、直观地了解和掌握对象物表面层生长的情况。
测试项目
吸附:
GFLR
、
GF3D
、
GF3R
、
TV
、
GBIR
、
TAPER
、
TAng
、
SFLR
、
SFLD
、
SFQR
、
SF3R
、
SF3D
、
SBIR
、
SBID
非吸附:
BOW
、
SORI
、整体应力、局部应力
可测试晶片种类
切割片、研磨片、抛光片、外延片、磊晶片
可选配光刻区域模拟软件、应力分析软件等


