二手 二手新科隆ACE-1100DS光学真空电镀膜机-蒸发电镀膜机 在 东莞市, 广东省, 中国
二手
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规格参数
描述
工厂低价转让 2台日本新科隆ACE-1100DS双枪，精控光控，深冷
系统构成
基片伞架
球状伞架(Φ718、Φ950、Φ1200、Φ1400、Φ1700)、锥形伞架、平板夹具、反转夹具
光学式膜厚计
OPM-Z1
水晶式膜厚计
XTC/3S、IC/6
电脑系统
SDC-I
蒸发源
电子枪方式、电阻加热方式
坩埚
φ35/φ40坩埚
离子源
NIS-175、NIS-120、离子束辅助镀膜、离子束清洗
设备性能
排气时间
达到2×10
-3
Pa不超过10分钟(基片温度设定为300℃)
极限真空压
不超过5×10
-5
Pa
基片加热温度
常用250℃
膜厚分布
Δnd＜±1.0％(按本公司标准发货基准)
安装条件（例）
ACE-1350S
所需电力
三相 200V±10％ 约70kW(电力)
所需冷却水
约72L/min、18〜25℃(标准20℃)
所需压缩空气
不低于0.5MPaG(0.7MPaG)
安装面积
W5150mm×D7000mm×H3150mm，顶棚高度不低于3500mm
总重量
约7600kg
详情
杨小姐13723521401 18103045976
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