二手 出售二手日本新科隆蒸发镀膜机 光学电镀机 在 东莞市, 广东省, 中国
二手
Doubleclick to zoom in
请联系卖家咨询
更多照片和设备细节。
规格参数
描述
工厂低价转让
1台 原装进口日本新科隆精密镀膜机1100MM，配双枪光控，低温泵，连续镀，离子源
系统构成
基板取付
旋转式立式伞架
光学式膜厚计
选购件
水晶式膜厚计
无
电脑系统
SSC-1
RAS机构
溅射源＋氧化反应源
旋转负极
选购件
追加目标
选购件（真空室１专用、仅1枚）
高真空排气系统
选购件（仅真空室1）
设备性能
排气时间(成膜室)
达到1×10
-3
Pa不超过30分钟(测量条件按本公司标准)
排气时间(前室)
从大气压到7Pa不超过7分钟(测量条件按本公司标准)
极限真空压
不超过1×10
-4
Pa
基片加热温度
不加热
膜厚分布
CV(变动系数)＝不超过0.5%(按本公司标准发货基准)
安装条件
所需电力
三相 200V±10％ 约68kW(电力)
所需冷却水
约140L/min、18〜24℃(标准20℃)
所需压缩空气
不低于0.5MPa(0.7MPa)
安装面积
W4300mm×D6300mm×H2700mm，顶棚高度不低于3000mm
总重量
约9000kg