新 光驰 OTFC-1550 在 东莞市, 广东省, 中国
新
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规格参数
描述
二手日本光驰OTFC-1550
/1800
电子束蒸发镀膜机/AR AF膜电镀机
双电子束蒸发
镀膜机
OTFC-1800
CBI/DBI
销售技术杨经理18103045976
机械特点：
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控
使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
设备尺寸：
设备
型号
OTFC-1800CBI/DBI
真空室 SUS304, φ1800mm×1920mm (H)
工件架 φ1600mm
工件架转速 10rpm to 30rpm(可变)
光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围：350nm to 1100nm
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