二手 出售二手日本光弛光学镀膜机OTFC-1300 电子束真空电镀机车灯透镜专用镀膜机 在 东莞市, 广东省, 中国

镀膜机的基本配置是：搭载了
10KV
双电子枪，
750W
的
RF
射频离子源，光学膜厚监控装置（
Optorun
制，
HOM2-R-VIS350A
），低温冷凝器（
Polycold
），油旋转机械泵
（
Edwards E2M275
）罗茨机械泵（
Edwards EH1200
）；多点和环型坩埚可镀
200
层以上，膜厚可达
20000nm
之多。这就意味着单片镀膜就可以达到截止深度
OD5
以上，不用再为了达到高
OD
值而再做两片胶合了。从而大大提升了滤光片的成像质量以及产品合格率。
二，下面介绍其中两个特点：
1.
光学膜厚测量控制：
OTFC-1300
镀膜机是利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程，这就使生产效率得以显著提高。光学膜厚监控技术已经成为当今光学薄膜成膜自动化的核心技术。可以对薄膜的厚度进行无损的、实时的测量，并在达到所需厚度时能及时给出控制信号。这就意味着镀膜更精准，公差更小，可以做到±
0.1nm
。
2. RF
射频离子源：
（
1
）加工精度高，便于精确控制。离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描，可以精确控制尺寸范围。高离子电流密度和均匀分布，照射面积能达到Ф
1150mm
以上。
（
2
）同使用灯丝型的离子源比较，它的寿命长，污染少。
（
3
）加工应力、变形极小。离子束加工工艺是一种原子级或分子级的微细加工，作为一种微观作用，其宏观压力很小，适合于各种材料和低刚度工件的加工，而且加工表面质量高。
（
4
）
动作安定性高，能长时间运转。
3.
镀膜机明细参数：
真空室
SUS304,
Ф
1300mm
×
1500mm(H)
基板架
4
片式工作架（或Ф
1200 mm
）基板架转速
30rpm(
可调
)
晶振式膜厚计
XTC/3+6
点式水晶传感器蒸发源电子枪
1
台性能极限真空
7.0
×
10-5Pa
以下抽气速度
10
分（大气压～
3.0
×
10-3Pa
）基板加热温度
350
℃安装要求安装空间约
4500mm(W)
×
6000mm(D)
×