新 光弛 OTFC-1550 在 东莞市, 广东省, 中国
新
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规格参数
- 新旧状况
- 新
- 规格
- 500m00) x 7200m(D)X53700mm
- 加工定制
- 否
- 真空室
- SUS304Ф1550*1800MM
- 电源
- 3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA
- 水流量
- 180升/分以上
- 空气压力
- 0.5MPa以上
- 基板温度
- 350C
- 排气时间
- 20分(大气压~1. 3X 10-3Pa)
- 达到压力
- 7. 0X10-5Pa以下
- 排气系统
- 机械泵2个 扩散泵Polycold (或2个冷凝泵)275机械泵 爱德华配套罗茨泵
- 离子源
- 23 寸光驰RF离子源
- 蒸发源
- 2套日本电子16P双枪
- 水晶式膜厚计
- XTC/3+6点式水晶传感器
- 光学膜厚监控仪
- 波长范围: 350nm to 1100nm |反射式/透射式
- 光学膜厚控制
- HOM2- -R -VIS350A
- 工件架转速
- 10rpm to 30rpm (可变)
- 工件架
- 工件架：Ф1400
- 重量
- 11000kg
- 电压
- 220
- 可售卖地
- 全国
- 材质
- 铸铁
- 子类别
- 机械设备
- 子类别 2
- 多功能包装机械
- 产品编号
- 100535998
描述
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